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　　相對(duì)濕度，指空氣中水汽壓與相同溫度下飽和水汽壓的百分比。而潔凈室相對(duì)濕度操控欠好，就有可能使?jié)崈羰艺w體現(xiàn)下降，而且還會(huì)帶來以下這些一系列的影響。那我們一起來看看潔凈室相對(duì)濕度操控欠好會(huì)有什么具體的影響吧！

　?。薄⒓?xì)菌成長

　　細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對(duì)濕度超越６０％的環(huán)境中能夠活潑地繁衍。一些菌群在相對(duì)濕度超越３０％時(shí)就能夠添加。而相對(duì)濕度處于４０％至６０％的規(guī)模之間時(shí)，能夠使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以無塵車間的相對(duì)濕度需要操控在必定規(guī)模。

　?。?、簡(jiǎn)單形成潔凈室里的金屬腐蝕

　　很多化學(xué)反響的速度，包括腐蝕過程，將跟著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。一些金屬，例如鋁，能夠與水形成一層維護(hù)型的氧化物，并阻撓進(jìn)一步的氧化反響；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的。在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更簡(jiǎn)單遭到腐蝕。

　　３、呈現(xiàn)靜電荷

　　當(dāng)相對(duì)濕度超越５０％時(shí)，靜電荷開端敏捷散失，可是當(dāng)相對(duì)濕度小于３０％時(shí)，它們能夠在絕緣體或者未接地的外表上繼續(xù)存在很長一段時(shí)間。潔凈室相對(duì)濕度在３５％到４０％之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間一般都使用額定的操控裝置以限制靜電荷的積累。

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　　相對(duì)濕度操控欠好，對(duì)潔凈室吸水性產(chǎn)出必定的影響。

　?。?、水汽冷凝

　　在相對(duì)濕度較高的潔凈室環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和外表之間形成了連接鍵，能夠添加顆粒與硅質(zhì)外表的黏附力。這種效應(yīng)稱為凱爾文濃縮，便是當(dāng)相對(duì)濕度小于５０％時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在７０％左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的首要力量。

　?。?、人體皮膚枯燥

　　如果潔凈車間濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于３０％則會(huì)讓人感覺枯燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　?。?、潔凈車間光刻的退化

　　在半導(dǎo)體潔凈車間中最迫切需要適度操控的是光刻膠的敏感性。因?yàn)楣饪棠z對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的操控規(guī)模的要求是最嚴(yán)格的。相對(duì)濕度和溫度關(guān)于光刻膠穩(wěn)定性以及準(zhǔn)確的尺度操控都是很關(guān)鍵的。乃至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將跟著相對(duì)濕度的上升而敏捷下降。當(dāng)然，改動(dòng)粘性，就會(huì)改動(dòng)由固定組分涂層形成的維護(hù)膜的厚度。

　　此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，因?yàn)樗值奈?，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力相同也能夠遭到較高的相對(duì)濕度的負(fù)面影響；較低的相對(duì)濕度（約３０％）使光刻膠附著愈加簡(jiǎn)單，乃至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷（ＨＭＤＳ）。

文章源自：江門潔凈工程 www.amcess.com